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517 京东方的求救(4k)(3 / 8)

东芝根本没法做出有效的BiCS,本来整个工艺是交替沉积氧化物(SiO)层和多晶硅(pSi)层实现的,然后在这个层堆叠中形成一个通道孔,填充氧化物—氮化物—氧化物(ONO)和pSix。

接着沉积光刻胶,在连续的蚀刻流程后,光刻胶修整再蚀刻出个阶梯,形成互连。

最后一步,蚀刻出一个槽再填充氧化物。

然而问题不是出在第三步的光刻胶蚀刻,就是出在流片封测上,哪怕侥幸成功,粗粗一算,良品率低得简直令人发指——

才%!阑

“陆总,东芝难道就没有一个说法吗!”

胡煜华愤愤不平道:“这个项目我们已经砸了亿美刀啊!”

“能有什么说法?”

陆飞拳头攥紧,积压着火:“东芝负责这个项目的技术总工割腕住院,会计卧轨死了,西田这个王八蛋把腰一弯,说句‘红豆泥斯密马赛’就想死不认账,吗的,哪有这么便宜的事!这群小霓虹我怀疑是组团忽悠我们,背地里一直在贪污研发经费。”

“这也太无耻了吧?”

胡煜华万万没想到东芝能这么臭不要脸,一时无语道:“那我们不是白折腾了吗?”

“哈哈哈,不白折腾。”阑

陆飞转怒为喜,“东芝敢这么干,不就欺我逻辑无能人嘛?

可巧了,我们还真有人!

朱一明觉得先栅极行不通,能不能试一试后栅极,交替氧化物层和氮化物层,结果他们真捣鼓出一个有别于‘BiCS’的新工艺,叫‘TCAT’,TerabitCellArrayTransistor。”

(ps:三星就是这个工艺)

“陆总,流片封测的结果怎么样?”

“相当可观,良品率提高了1倍之多。”

“天呐!

”阑

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