东芝根本没法做出有效的BiCS,本来整个工艺是交替沉积氧化物(SiO)层和多晶硅(pSi)层实现的,然后在这个层堆叠中形成一个通道孔,填充氧化物—氮化物—氧化物(ONO)和pSix。
接着沉积光刻胶,在连续的蚀刻流程后,光刻胶修整再蚀刻出个阶梯,形成互连。
最后一步,蚀刻出一个槽再填充氧化物。
然而问题不是出在第三步的光刻胶蚀刻,就是出在流片封测上,哪怕侥幸成功,粗粗一算,良品率低得简直令人发指——
才%!阑
“陆总,东芝难道就没有一个说法吗!”
胡煜华愤愤不平道:“这个项目我们已经砸了亿美刀啊!”
“能有什么说法?”
陆飞拳头攥紧,积压着火:“东芝负责这个项目的技术总工割腕住院,会计卧轨死了,西田这个王八蛋把腰一弯,说句‘红豆泥斯密马赛’就想死不认账,吗的,哪有这么便宜的事!这群小霓虹我怀疑是组团忽悠我们,背地里一直在贪污研发经费。”
“这也太无耻了吧?”
胡煜华万万没想到东芝能这么臭不要脸,一时无语道:“那我们不是白折腾了吗?”
“哈哈哈,不白折腾。”阑
陆飞转怒为喜,“东芝敢这么干,不就欺我逻辑无能人嘛?
可巧了,我们还真有人!
朱一明觉得先栅极行不通,能不能试一试后栅极,交替氧化物层和氮化物层,结果他们真捣鼓出一个有别于‘BiCS’的新工艺,叫‘TCAT’,TerabitCellArrayTransistor。”
(ps:三星就是这个工艺)
“陆总,流片封测的结果怎么样?”
“相当可观,良品率提高了1倍之多。”
“天呐!
”阑